AT850C8"-12"已拆卸在潔凈室中,晶圓300mm,無HDD上海價(jià);
SMIF/FOUP
CYMER ELS 7600激光器
AOM激光器
準(zhǔn)分子激光器
LMA模塊
底部模塊
MCM(機(jī)柜模塊)
網(wǎng)格,6“
左直列
晶圓載物臺
網(wǎng)狀階段
晶圓搬運(yùn)器
網(wǎng)格處理程序
木炭過濾器
側(cè)通道鼓風(fēng)機(jī)
空氣控制柜(ACC)
(2) 覆蓋面板
框架部件:MB、Mcab、RH WH
流程模塊:
成分/類型
PM1/光源
PM2/對齊
PM3/階段
內(nèi)閣
MDC
LCWC
MCWC
排氣柜
包括備件
不包括硬盤驅(qū)動器(HDD)
操作系統(tǒng):UNIX |