VTM單晶爐是依據(jù)我公司自主研發(fā)的VTM工藝方法所設(shè)計(jì)的新型單晶工藝設(shè)備，設(shè)備由加熱系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)支撐機(jī)構(gòu)、電控系統(tǒng)四部分組成，適用碲鋅鎘、碲化鎘、銻化鎵等多種化合物半導(dǎo)材料的單晶生長(zhǎng)。
VTM單晶爐設(shè)備特點(diǎn)：
晶體生長(zhǎng)界面引入磁力控制，穩(wěn)定晶體生長(zhǎng)方向，提高了單晶成品率；
整機(jī)的機(jī)械運(yùn)動(dòng)及加熱系統(tǒng)采用PC控制，菜單數(shù)據(jù)可輸入，歷史數(shù)據(jù)可查詢，具有聲、光報(bào)警，生產(chǎn)重復(fù)性高；
加熱系統(tǒng)分主加熱裝置和輔助加熱裝置，主加熱控制整體溫度、輔助加熱可移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)局部加熱的高精度，加強(qiáng)了溫場(chǎng)的可控性；
運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用一鍵式控制既滿足裝爐時(shí)的快速升降，又可以精確控制晶體生長(zhǎng)時(shí)爐體的緩慢行程速度，大大提高生產(chǎn)效率；
支撐機(jī)構(gòu)采用分體式設(shè)計(jì)，保暲穩(wěn)定性同時(shí)有效阻隔了震動(dòng)，提高單晶生長(zhǎng)的質(zhì)量及成品率；
采用剛性傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)效率高,穩(wěn)定性強(qiáng)。
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