| 龍璽精密-二代半導(dǎo)體材料全自動(dòng)清洗機(jī)-可非標(biāo)定制 |
第二代半導(dǎo)體材料全自動(dòng)清洗機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域，先進(jìn)的清洗工藝有效去除了晶片表面的細(xì)微顆粒物、金屬殘留光刻膠殘留物等問(wèn)題。高精度全自動(dòng)配藥系統(tǒng)，可針對(duì)不同工藝要求對(duì)藥液比例精準(zhǔn)配比。
設(shè)備用途：用于硅、藍(lán)寶石、GaAs晶片清洗及烘干工藝；
適用工藝：集成電路領(lǐng)域-膜前清洗、去膠清洗、外延前清洗；
槽體布局：?jiǎn)闻攀畚唬?br />
清洗能力：5min/100片；
自動(dòng)化程度：工藝過(guò)程自動(dòng)/手動(dòng)可切換控制；
設(shè)備特點(diǎn)：
◆兼容8寸，12寸Wafer清洗；
◆自動(dòng)配液系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)不同濃度精確配比；
◆支持多任務(wù)并行處理；
◆模塊化設(shè)計(jì)；
◆結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小；
◆維護(hù)成本低；
◆潔凈等級(jí)符合 ISO Class1 標(biāo)準(zhǔn)；
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