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龍璽精密-為您提供EVG 520晶圓鍵合機設備買賣+翻新全套解決方案
編 號：2821 (發布時間:2025.11.17) 咨詢此設備請加我微信
名 稱：EVG 520晶圓鍵合機
廠 商：EVG
型 號：EVG520
年 份：2010
狀 態：國外
EVG5206"EVG 520 Wafer Bonde
- Model: EVG 520
- Manual wafer load substrate bonder
- Capable of fusion compression bonding
- Capable of thermal compression bonding
- Capable of anodic bonding
- Ideal for R&D and pilot production applications
- High-vacuum capable bond chamber
- Auto opening of bond tool cover
- Windows based control software and operation interface
- Wafer size: up to 150mm capable
- Vacuum chuck: 6"/150mm diameter chuck
- Max Bond Force: 7 kN
- Top side heater: 550°C max.
EVG 520晶圓鍵合機
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