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龍璽精密-為您提供AMAT Producer GT CVD化學氣相沉積設備設備買賣+翻新全套解決方案
編 號：2330 (發布時間:2022.7.15)
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名 稱：
AMAT Producer GT CVD化學氣相沉積設備
廠 商：AMAT
型 號：Producer GT
年 份：2008
狀 態：
國外
Producer GT
晶圓尺寸：300mm
生產者GT：配置FI
類型：SFEM(制造商：MATTSON)
FI 機器人：SFEM Dual BladeType
FI 機器人控制器：未知
負載端口：2 端口
計量：NA UPS：Powerware 5115 0190-26019
TCS：0090-06236
FES：0090-06237 FIS：0090-06233 CGA 服務器
主機配置 ：處理室： 室 A：HARP (USG) 室 B：HARP (USG) 室 C：HARP (USG) 本地中心查找器：是 Xfer 機器人刀片：FX 雙甲板陶瓷.
腔體配置：腔體 A 和 B 和 C： 加熱器：HA12 真空吸盤 蓋子：水冷,帶 RF 蓋 擋板：未知 面板：水冷 壓力計：20/1000 Torr/50Torr Trip RPS：NPP-804L.
子機：顯示器機架 x1set 臭氧發生器機架 x1ea 交流機架 x1ea NPP 電源機架 (NPK-300A) x1ea.
系統描述：氣箱 部件號：0040-35688 水冷前級配置 - TV：MKS 683B-31931
龍璽精密-為您提供二手
AMAT Producer GT CVD化學氣相沉積設備
買賣+翻新全套解決方案。龍先生18868521984(微)
AMAT Producer GT CVD化學氣相沉積設備
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