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龍璽精密-為您提供NIKON NSR S204B分步投影光刻機設備買賣+翻新全套解決方案
編 號：2287 (發(fā)布時間:2022.6.11) 咨詢此設備請加我微信
名 稱：NIKON NSR S204B分步投影光刻機
廠 商：NIKON
型 號：NSR-S204B
年 份：-
狀 態(tài)：國外
NSR-S204B(激光器是giga)
Manufacturer : NIKON
Inline_Cot / Dev : TEL ACT8
Inline : Left
Wafer specifications : Φ8 Orifura
Wafer Chuck : Mitsubishi Nano Flat II
Reticle specification : 6 inch NIKON cassette
Number of reticle libraries : 10 sheets x 2 stages (20 sheets in total)
With PPD
With RBCR
Laser Type : GIGA G20K2 / Serial: 5069
Chamber Type : ASAHI N5Z-A / Serial: N5Z1901
Operating status : In operation
NIKON NSR S204B分步投影光刻機
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