| EUV時代全面加速 ML設備出貨超100臺[] |
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據業內透露，截至第二季度，ASMLEUV設備出貨總量達到102臺，隨著需求量的提高和客戶群的擴大，預計2年內累計供應量將增加2倍以上，標志著EUV時代正式拉開帷幕。
據ETNews報道，過去四個季度（2020年第三季度-2021年第二季度），ASMLEUV設備出貨總計40臺，較之前四個季度（2019年第三季度-2020年第二季度）增長了66%。ASML今年的出貨目標是40臺左右，下半年將供應25臺左右。
ASML擴大EUV設備供應響應了半導體制造業實現超微電路層的需求。盡管每臺設備的價格達到1.71億美元，但由于其卓越的工藝成本和省時效果，可以抵消設備采購的成本。業內人士指出，通過EUV可以降低設備成本和工藝成本，因此，在微加工領域引進EUV設備的企業越來越多。
根據ASML的說法，5-7nm邏輯半導體（以每月45,000顆晶圓為基準）每個EUV層需要一臺EUV設備，16nm及以下節點DRAM（以每月100,000顆晶圓為基準）每個EUV層則需要1.5-2臺設備。三星電子計劃，到今年下半年為止，將14nmDDR5DRAM的EUV應用層數從1層增加到5層，SK海力士也計劃增加EUV應用層數，因此，預計EUV設備的需求將進一步增加。
除了EUV層的增加，EUV設備的客戶群也在逐漸擴大。繼2018年三星電子首次引進7nm制程的EUV設備后，臺積電和SK海力士也加入了EUV競爭。美國的美光和英特爾也在推進EUV設備的引進，預計市場規模將進一步擴大。
業界預測，EUV時代將全面加速發展。因此，ASML計劃通過增加設備供應來滿足需求。ASML首席執行官PeterWennink在第二季度財報會議上表示:“我們計劃明年將EUV設備的產量增加到55臺，到2023年將達到60臺。”兩年后，市場上將有240多臺EUV設備投入使用，超過了目前積累的供應量。
但據觀察，臺積電已確保了目前供應的半數EUV設備。臺積電擁有約50臺EUV設備。考慮到EUV設備的目前由ASML獨家供應，三星電子、SK海力士等半導體企業很難在短時間內確保有足夠的設備。 |
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